據大眾日報報道，艾恩半導體自主研發的第一代碳化硅離子注入機已進入市場驗證階段。此外，該公司對標國際領先技術的第二代碳化硅離子注入機正在加速研發，預計今年9月面市。今年6月，艾恩半導體還將推出一款硅基中束流離子注入機，而其碳化硅大束流離子注入機則計劃于年底推向市場，有望填補國產設備在這一領域的空白。
離子注入機是芯片制造中僅次于光刻工藝的關鍵環節，其性能直接影響芯片內部結構器件的核心電學特性，對第三代半導體產業發展具有重要意義。由于技術門檻高、驗證周期長，該領域長期被國外廠商壟斷，國產化率較低，國內廠商易受制于人。在此背景下，艾恩半導體等國內企業積極布局，推動國產離子注入機的研發與應用。
艾恩半導體成立于2024年，在魯信集團直管企業魯信創投的支持下，將總部遷至山東濟南高新區。魯信創投在艾恩半導體成立初期便進行投資孵化，并通過招商引資助其落戶山東，進一步完善了山東第三代半導體產業鏈。此舉不僅促進了上下游企業的協同發展，還助力打造空間集聚、功能關聯的第三代半導體產業集群。
圖源：艾恩半導體

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