據中國電子報、科創板日報等媒體報道，2025年第一季度，中國半導體設備企業在“本土替代”采購的推動下，多數實現營收增長，但利潤表現呈現兩極分化。科創板的12家半導體設備企業中，有11家營收增長，其中9家的年增長率超過25%；凈利潤方面，僅有6家企業實現同比增長，4家甚至出現超過100%的下滑。
中微半導體設備的表現較為突出，其第一季度營收達21.73億元，同比增長35.4%；凈利潤為3.13億元，同比增長25.7%。中微表示，其蝕刻設備在邏輯芯片制造領域已覆蓋28納米的大部分應用，并成功打入5納米及以下制造環節。公司預計第二季度營收將在25億至30億元之間，同比增長30%至35%。
盛美上海的凈利潤同比增長207.21%，達到2.46億元，營收為13.06億元，同比增長41.73%。盛美上海董事長王暉透露，公司濕法設備在中國邏輯芯片市場的占有率已突破25%。2024年，其半導體清洗設備營收達40.57億元，同比增長55.18%。
京儀設備的表現同樣亮眼，第一季度營收為3.38億元，同比增長54.23%。公司成功開拓新客戶，其設備已進入長江存儲、中芯國際等企業。SEMI數據顯示，2024年全球半導體設備銷售額達1,171億美元，預計2025年將達1,210億美元。
部分企業如拓荊科技雖營收增長50.22%，但凈虧損達1.47億元。主要原因是12納米以下先進制程設備的研發投入增加，新產品銷售收入占比近70%，導致毛利率較低。

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