據(jù)俄羅斯衛(wèi)星通訊社3月25日報道，莫斯科“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司宣布完成了俄羅斯首臺350納米光刻機的研發(fā)工作，這標志著俄羅斯在微芯片生產(chǎn)關(guān)鍵設(shè)備領(lǐng)域取得了重要突破。該設(shè)備將用于微電子產(chǎn)品的生產(chǎn)，包括汽車、航空航天、工業(yè)自動化和消費電子等多個領(lǐng)域。
莫斯科市長謝爾蓋·索比亞寧在“電報”頻道上發(fā)文稱，全球能夠制造光刻機的國家不到10個，俄羅斯已成功躋身這一行列。他表示，這一設(shè)備的問世是俄羅斯向自主生產(chǎn)微電子產(chǎn)品和實現(xiàn)技術(shù)獨立邁出的重要一步。與國外同類設(shè)備相比，俄羅斯的光刻機首次采用固體激光器作為輻射裝置，取代了傳統(tǒng)的汞燈。固體激光器具有功率大、能效高、耐用性強以及光譜更窄的優(yōu)勢。
公司總經(jīng)理阿納托利·科瓦列夫透露，這一項目是在與白俄羅斯“Planar”工廠的合作下完成的。2024年12月，設(shè)備通過測試并獲得國家委員會的認可，所有申報的技術(shù)特征均得到驗證。目前已有客戶購買了這一設(shè)備，工藝流程正根據(jù)用戶需求進行調(diào)整。
據(jù)悉，這款光刻機的工作區(qū)域面積達到22x22毫米，可加工最大直徑為200毫米的晶圓，主要用于電力電子和光子學(xué)領(lǐng)域的微電子設(shè)備生產(chǎn)。莫斯科市投資和工業(yè)政策局表示，“澤列諾格勒納米技術(shù)中心”公司已具備批量生產(chǎn)該設(shè)備的能力，同時還在研發(fā)130納米光刻機，預(yù)計2026年完成。
莫斯科政府部長兼投資和工業(yè)政策局局長阿納托利·加爾布佐夫指出，莫斯科是俄羅斯微電子產(chǎn)業(yè)的核心，占全國微電子企業(yè)總營收的40%。光子學(xué)和微電子學(xué)的發(fā)展在通信、傳感技術(shù)等領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用前景，“莫斯科科技城”經(jīng)濟特區(qū)的入駐企業(yè)正在推進多個戰(zhàn)略性項目。

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