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Agnitron在兩所大學(xué)安裝MOCVD系統(tǒng)

來源: 責(zé)編: 時間:2023-08-07 10:56:18 424觀看
導(dǎo)讀加州大學(xué)圣巴巴拉分校將生長Ga2O3,用于功率器件和射頻器件,而圣母大學(xué)將生產(chǎn)SiC芯片,用于量子計算Agnitron Technology總部位于明尼蘇達州,是一家專業(yè)MOCVD公司,今年夏季在美國兩所大學(xué)安裝了定制系統(tǒng)。一個是加州大學(xué)圣巴

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加州大學(xué)圣巴巴拉分校將生長Ga2O3,用于功率器件和射頻器件,而圣母大學(xué)將生產(chǎn)SiC芯片,用于量子計算VhV28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

Agnitron Technology總部位于明尼蘇達州,是一家專業(yè)MOCVD公司,今年夏季在美國兩所大學(xué)安裝了定制系統(tǒng)。一個是加州大學(xué)圣巴巴拉分校,利用該系統(tǒng)生長超寬帶隙(UWBG) Ga2O3,用于功率器件和射頻器件。另一個是印第安納州圣母大學(xué),利用該系統(tǒng)開發(fā)寬帶隙(WBG) SiC器件,用于量子計算。VhV28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

2023年7月,Agnitron在加州大學(xué)圣巴巴拉分校安裝了研發(fā)氧化鎵的MOCVD Agilis 100系統(tǒng),并證明該系統(tǒng)達標(biāo)。Agnitron和加州大學(xué)圣巴巴拉分校已經(jīng)在類似領(lǐng)域合作了5年多,但新安裝的系統(tǒng)意味著,加州大學(xué)圣巴巴拉分校可以自主生長材料,從而獲得更強的靈活性和創(chuàng)新性。VhV28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

加州大學(xué)圣巴巴拉分校的Agnitron Agilis 100系統(tǒng)具有六個金屬有機通道、兩條氧化前體線和硅摻雜能力,在高達1100°C的襯底工藝溫度下,可以進行生長。該系統(tǒng)采用第二代遠程注入,附加了近距離注入噴頭,還擁有用來控制生長參數(shù)的原位高溫測量和反射測量,以及Agnitron最新的軟件控制平臺Imperium。VhV28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

據(jù)該公司稱,與其他技術(shù)相比,該系統(tǒng)顯著減少了氣相反應(yīng),且在直徑兩英寸的晶圓上具有出色的厚度均勻性。此外,Agnitron表示Agilis 100 MOCVD平臺也可以輕松轉(zhuǎn)換,用來生長GaN外延層和AlN外延層。VhV28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

領(lǐng)導(dǎo)加州大學(xué)圣巴巴拉分校Ga2O3研究的Sriram Krishnamoorthy教授表示:“我們期待與Agnitron合作,以進一步開發(fā)超寬帶隙Ga2O3,合金和異質(zhì)結(jié)構(gòu)的外延層,并將其轉(zhuǎn)化為可創(chuàng)紀(jì)錄的器件性能。我們之前在猶他大學(xué)使用過Agnitron Agilis氧化鎵MOCVD系統(tǒng),我們很高興能夠重復(fù)并改善這一經(jīng)驗,獲得品質(zhì)最高的外延薄膜。”VhV28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

Agnitron銷售副總監(jiān)Paul Fabiano評論道:“我們很高興與加州大學(xué)圣巴巴拉分校在UWBG材料方面進行合作。對于未來的射頻器件技術(shù)和功率器件技術(shù)來說,MOCVD Agilis 100系統(tǒng)是一個至關(guān)重要,且不斷擴展的材料系統(tǒng)。”VhV28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

此外,今年夏季,Agnitron向圣母大學(xué)工程學(xué)院交付了MOCVD/CVD工具。該系統(tǒng)名為Agilis Mini,將開發(fā)SiC器件,用于量子計算。Agnitron總裁兼首席執(zhí)行官Andrei Osinsky表示:“Agnitron今年推出了Agilis Mini,與Agilis 100相同,Agilis Mini為研究團隊提供了最先進的屬性,但其預(yù)算更為有限。隨著時間的推移,該工具可以通過其他技術(shù)得到增強和升級。然而,Agilis Mini開箱即用,可以滿足客戶當(dāng)前的研發(fā)需求。”VhV28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

圣母大學(xué)的chris Henkle表示:“我們需要一種新型工具來制造品質(zhì)最高的SiC,用于量子互連。之所以選擇Agnitron的Mini-Agilis,是因為該公司的聲譽和工具設(shè)計,其中工具設(shè)計能為使用壽命長的量子位提供所需純度。”VhV28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

圣母大學(xué)的工程潔凈室正在安裝該工具。其所在建筑中還設(shè)有許多其他類型的半導(dǎo)體設(shè)備和實驗室,供學(xué)生和教師使用。VhV28資訊網(wǎng)——每日最新資訊28at.com

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